FM960系列微小氣體質量流量計

產品編號:FM960系列

產品特點:

主體采用不銹鋼(316L)結構, 氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

耐壓高及適用于真空條件下工作,低壓降,工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

配合流量積算儀,對瞬時和累積流量進行精確計量。

產品應用:

半導體制造行業、真空鍍膜設備、環境檢測與分析設備、各行業氣體流量檢測和控制、特種材料表面處理裝置與燃燒控制、混氣配氣系統和泄露探測系統等。


產品特點:

主體采用不銹鋼(316L)結構, 氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

耐壓高及適用于真空條件下工作,低壓降,工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

配合流量積算儀,對瞬時和累積流量進行精確計量。

產品應用:

半導體制造行業、真空鍍膜設備、環境檢測與分析設備、各行業氣體流量檢測和控制、特種材料表面處理裝置與燃燒控制、混氣配氣系統和泄露探測系統等。

成功案例

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